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仪器设备

      Jsputter8000超高真空多靶磁控溅射系统         MUE-ECO电子束蒸发镀膜系统 

          ABM/6/350/NUV/DCCD/M紫外光刻机                      RTP500V快速退火炉 

                 M-2000DI光谱型椭偏仪                          PM5+Keithley 4200 SCS半导体参数测量仪 

最后修改:2017-07-02 22:21:26,   访问次数:8590
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